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從總體上來講，電伺服驅動比氣動伺服驅動要貴，但也要因具體要求及場合而定。有些小功率的直流電機構成電動滑臺(電伺服系統)實際上比氣動伺服系統要便宜。
如:當負載為1.5kg、工作行程為80mm、速度在2~170mm/s之間、精度為?0.1mm、加速度2.5m/s2等工況條件時，FESTO公司采用小型電動滑臺、控制器、馬達電纜、控制電纜、編程電纜以及電源電纜等組成的電伺服系統，其價格就比氣動伺服系統便宜25%。同樣，對于帶活塞桿電缸也是如此。需要說明的是如果采用交流電機的話，所組成的電伺服系統的價格要比氣動伺服系統高出40%左右。
從購買和應用成本來看，目前氣缸還是具有比較明顯的優勢的。對于氣動系統來說，控制系統及執行機構都非常簡單，每個氣缸只需配置一個電磁閥就可完成氣路的切換，進行運動控制，氣缸發生故障的概率也比較小，維護簡單方便，成本也低。
而對于電動執行器來說，雖然電能的獲得比較簡單，能量成本較低，但購買及應用成本較高，不僅需要配置電機，還需要一套機械傳動機構以及相應的驅動元件。同時使用電動執行器需要很多保護措施，錯誤的電路連接、電壓的波動及負載的超載都會對電驅動器造成損壞，因此需要在電路及機械上加裝保護系統，增加了很多額外的費用支出。另外，由于電動執行器驅動單元的參數化設置較多，且集成度高，所以其一旦發生故障，就要更換整個元件。而且當系統需要的驅動力增加時，也要成套更換元件才能實現。因此綜合比較可以看出氣缸在購買及維護成本上有較大優勢。
